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主要技術(shù)參數(shù)：
1. 極限真空度：2.8x10-4Pa；
2. 工作真空度：6.67x10-3Pa；
3. 抽速：從大氣抽至6.67x10-3Pa，＜10分鐘；
4. 壓升率：0.5Pa/小時；
5. 自轉(zhuǎn)軸中心距：210mm；
6. 工位：20個（工件架最大自轉(zhuǎn)半徑為180mm）；
真空鍍膜機(jī)PVD12513A
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真空鍍膜機(jī)PVD12513A
詳細(xì)信息 主要技術(shù)參數(shù)： 1. 極限真空度：2.8x10-4Pa；
2. 工作真空度：6.67x10-3Pa；
3. 抽速：從大氣抽至6.67x10-3Pa，＜10分鐘；
4. 壓升率：0.5Pa/小時；
5. 自轉(zhuǎn)軸中心距：210mm；
6. 工位：20個（工件架最大自轉(zhuǎn)半徑為180mm）；
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