ITO靶材主要質(zhì)量指標
化學成分:In2O3 :SnO2=90:10(wt%)
純度≥99.99%
相對密度>99%
密度均勻性偏差≤ ±0.2%
相結(jié)構(gòu):單一立方In2O3相
純度≥99.99%
相對密度>99%
密度均勻性偏差≤ ±0.2%
相結(jié)構(gòu):單一立方In2O3相
失氧率≤2%
單片最大尺寸:300mm x 400mm,厚度可按用戶要求任意
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ITO靶材
詳細信息 ITO靶材主要質(zhì)量指標 化學成分:In2O3 :SnO2=90:10(wt%)
純度≥99.99% 相對密度>99% 密度均勻性偏差≤ ±0.2% 相結(jié)構(gòu):單一立方In2O3相 失氧率≤2%
單片最大尺寸:300mm x 400mm,厚度可按用戶要求任意 共0條 相關評論 |